CEM3000一鍵快速成像掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。不同于立式電鏡,CEM3000系列臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。
中圖儀器NS系列涂層臺階膜厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺,可以對樣品的位置以及角度進行調(diào)節(jié),三維位置均可以調(diào)節(jié),利于樣品調(diào)整。
VT6000共聚焦超景深三維顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng)。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
CEM3000系列臺式材料分析掃描電鏡高易用性,能夠快速成像、一鍵出片,用戶使用自動調(diào)節(jié)功能,無需過多人工操作,就可得到高質(zhì)量拍攝圖片。
CEM3000鎢燈絲掃描電鏡采用制作工藝相對簡單的鎢燈絲,材料成本較低,使得鎢燈絲電子槍的整體成本不高,從而降低了臺式掃描電鏡的設(shè)備采購成本,對于預算有限的用戶或?qū)嶒炇襾碚f更具經(jīng)濟吸引力。
NS系列納米級精度臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。
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