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中圖儀器3d輪廓掃描儀是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量。

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀高精度測量儀在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperVirewW1光學(xué)3d表面輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖SuperViewW1三維光學(xué)表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量，通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

?SJ5730-100國產(chǎn)輪廓測量儀器具有12mm~14mm以上的大量程粗糙度測量范圍，分辨率達(dá)到1nm或更高，可以一次測量同時(shí)評(píng)定輪廓和粗糙度參數(shù)。儀器配置了特殊分離式操作桿，操作桿在儀器操作移動(dòng)時(shí)，可放置在任何位置控制操作，在測量工件前對(duì)測針進(jìn)行粗定位；在脫離電腦的情況下，操作桿具備左右/上下移動(dòng)測針、急停、測桿上下角度擺動(dòng)及速度分多級(jí)調(diào)節(jié)功能。

光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量的檢測儀器。有非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效的優(yōu)點(diǎn)。